一. 上游設(shè)備
制作流程：原材料—單晶棒—單晶片—圖形化襯底PSS—外延片
首要設(shè)備：MOCVD,
ICP刻蝕機, 光刻機, PECVD
上游外延成長，因為外延膜層決議了結(jié)尾LED光源的功能與質(zhì)量，是LED出產(chǎn)流程的中心，用于外延片成長的MOCVD也因其技能難度高、技能雜亂變成這些年*受注目，全球商場獨占*嚴峻的設(shè)備。因而，該設(shè)備的國產(chǎn)化遭到了國內(nèi)工業(yè)界的熱捧，一些公司和研討機構(gòu)也啟動了MOCVD的研制，但何時能完成工業(yè)運用仍是個未知數(shù)。
此外，隨同LED外延技能的不斷創(chuàng)新，特別是藍寶石襯底(PPS)加工技能的廣泛運用，藍寶石襯底刻蝕設(shè)備也逐步變成LED外延片制作技能中心要害技能設(shè)備之一，其技能水平直接影響到成膜功能，越來越遭到工業(yè)界的重視。作為國內(nèi)半導(dǎo)體配備業(yè)的新星，北方微電子憑借多年從事半導(dǎo)體、太陽能**設(shè)備制作的技能優(yōu)勢，為LED出產(chǎn)范疇的刻蝕運用專門開發(fā)了ELEDETM330ICP刻蝕設(shè)備，并已成功完成了PSS襯底刻蝕在大出產(chǎn)線上的運用，這能夠稱得上是LED出產(chǎn)設(shè)備國產(chǎn)化范疇的打破，必然對LED設(shè)備國產(chǎn)化起到推進和帶頭作用。
二. 中游芯片制作設(shè)備
中游芯片制作用于依據(jù)LED的功能需要進行器材布局和技能描繪。
制作流程：金屬蒸鍍—光刻—電極制作(熱處理、刻蝕)芯片切開—測驗分選
首要設(shè)備：ICP刻蝕機,光刻機,蒸騰臺,濺射臺，激光劃片機
1．刻蝕技能及設(shè)備
刻蝕技能在中游芯片制作范疇有著廣泛的運用（見表2），而跟著圖形化襯底技能被越來越多的LED公司認可，對圖形化襯底的刻蝕需要也使ICP刻蝕機在整個LED工業(yè)鏈中的比重大幅度晉升。更大產(chǎn)能、更高功能的ICP刻蝕機變成LED干流公司的需要方針，在產(chǎn)能方面需求刻蝕機的單批處理才能到達每盤20片以上，機臺具有更高的利用率和全自動Cassette to
Cassette的出產(chǎn)流程；因為單批處理數(shù)量增大，片間和批次間的均勻性操控愈加嚴厲；此外，更長的保護周期和快捷的人機交互操作界面也是面向大出產(chǎn)線設(shè)備必備的條件。而北方微電子所開發(fā)的ELEDETM330刻蝕機，集成了多項先進技能，用半導(dǎo)體刻蝕技能更為精準的描繪需求來完成LED范疇更高功能的刻蝕技能，徹底滿意大出產(chǎn)線對干法刻蝕技能的上述需求。
2.光刻技能及設(shè)備
光刻技能是指在晶片上涂布光阻溶液，經(jīng)曝光后在晶片上構(gòu)成必定圖畫的技能。LED芯片出產(chǎn)中經(jīng)過光刻來完成在PSS技能中構(gòu)成刻蝕所需特定圖畫掩模以及在芯片制作中制備電極。LED光刻技能首要選用投影式光刻、觸摸式光刻和納米壓印三種技能。觸摸式光刻因為價錢低，是當前運用干流，但跟著PSS襯底遍及，圖形尺度精細化，投影式光刻逐步變成干流。納米壓印因為不需光阻，技能簡略，歸納本錢較低，但因為重復(fù)性較差，還處于研制期間。
國內(nèi)LED出產(chǎn)用觸摸式光刻機首要依靠進口，投影式光刻機多為二手半導(dǎo)體光刻機創(chuàng)新。而鑒于國內(nèi)光刻設(shè)備出產(chǎn)公司的技能根底和在創(chuàng)新事務(wù)中獲得的經(jīng)歷堆集，信任假以時日開發(fā)出國產(chǎn)的LED光刻設(shè)備的遠景一片光亮。納米壓印是經(jīng)過模版熱壓的技能制備納米級圖形，在美國、臺灣等均有較深化的研討，工業(yè)化運用還不老練，但仍存在較大的運用潛力。
3．蒸鍍技能及設(shè)備
蒸鍍技能是指在晶片外表鍍上一層或多層ITO通明電極和Cr、Ni、Pt、Au等金屬，通常將晶片置于高溫真空下，將熔化的金屬蒸著在晶片上。LED芯片出產(chǎn)中選用蒸鍍技能在晶片上焊接電極并經(jīng)過蒸鍍金屬加大晶片的電流導(dǎo)電面積。
蒸鍍臺按能量來歷首要分為熱蒸鍍臺和電子束蒸鍍臺，鑒于作為電極的金屬熔點高，金屬附著力需求較高，LED職業(yè)遍及運用電子束蒸鍍機（Ebeam
Evaporator）。當前國內(nèi)LED出產(chǎn)用蒸鍍臺當前仍以進口為主。國內(nèi)盡管已把握蒸鍍臺原理，并能自行制作實驗室用蒸鍍臺，但因為自動化程度、技能重復(fù)性、均勻性等疑問，沒有進入大出產(chǎn)線運用。鑒于LED電極堆積用蒸鍍臺比較半導(dǎo)體PVD設(shè)備難度較低這一狀況，國內(nèi)具有半導(dǎo)體PVD設(shè)備開發(fā)經(jīng)歷的設(shè)備商，將有才能完成LED蒸鍍臺國產(chǎn)化。